ZhenAn, Ki metòd debaz yo souvan itilize pou tès grenn materyèl sib?

ZhenAn, ki metòd debaz yo souvan itilize pou tès grenn materyèl sib?

Materyèl sib yo anjeneral polikristalin, ak gwosè grenn ki sòti nan mikron ak milimèt. Plis grenn yo fin, se pi gwo zòn fwontyè grenn jaden an, ak pi gwo enpak sou pèfòmans. Pou menm materyèl sib la, sib ki gen grenn amann gen yon to sputtering pi vit pase sib ki gen grenn koryas. Sib ki gen pi piti varyasyon gwosè grenn (distribisyon inifòm) pwodui distribisyon epesè plis inifòm nan fim sputtered. Rechèch yo te jwenn ke si gwosè grenn yon sib Titàn kontwole anba a 100 μm, epi yo kenbe varyasyon nan gwosè grenn nan 20%, bon jan kalite a nan fim nan sputtered ki kapab lakòz ka amelyore. Siyifikatif amelyorasyon.

Twa metòd debaz pou tès gwosè grenn sib
1. Metòd konparezon: Metòd konparezon an pa mande pou konte grenn oswa entèsepte. Lè w konpare ak yon seri estanda nan tablo evalyasyon, evalyasyon gwosè grenn jaden lè l sèvi avèk metòd konparezon an jeneralman montre yon sèten degre devyasyon (± 0.5 nivo). Repwodibilite ak repwodiksyon valè evalye yo anjeneral ±1 nivo.

2. Metòd zòn: Metòd zòn nan konte kantite grenn ki nan yon zòn li te ye epi sèvi ak kantite grenn pou chak inite zòn pou detèmine klas gwosè grenn. Presizyon nan metòd sa a se yon fonksyon nan gwosè a grenn kalkile, epi ak konte apwopriye, yon presizyon nan nivo ± 0.25 ka reyalize. Rezilta yo nan metòd zòn nan san patipri, ak yon repwodiksyon nan mwens pase ± 0.5 nivo. Kle pou detèmine gwosè grenn ak metòd zòn nan se nan konte grenn ki klèman delimite limit grenn yo.

3. Metòd entèsepte: Konte segman aks dèz yo kalkile lè w konte kantite entèsepte kote yon segman liy tès (oswa kadriyaj) ki gen longè konnen kwaze fwontyè grenn yo. Yo detèmine klas gwosè grenn yo lè l sèvi avèk kantite entèsepte pou chak longè inite. Presizyon nan metòd entèsepte a se yon fonksyon nan kantite entèsepte oswa entèsepte kalkile, epi yo ka reyalize atravè analiz estatistik efikas. ± 0.25 nivo presizyon. Rezilta mezi metòd entèsepte yo gen patipri-gratis, epi repwodibilite ak repwodiksyon yo mwens pase ±0.5 nivo. Pou menm nivo presizyon, metòd entèsepte a pa mande pou make egzat pwen entèsepte oswa nimewo entèsepte, kidonk li se pi vit pase metòd zòn nan.