ZhenAn Dekri yon ti tan faktè ki afekte pousantaj depo kouch sib la?

ZhenAn yon ti tan dekri faktè sa yo ki afekte to a depo nan kouch sib?

Magnetron sputtering se yon metòd depo vapè fizik ki ka depoze yon varyete materyèl, ki gen ladan metal, alyaj, ak seramik, lè l sèvi avèk yon jaden mayetik ki fòme espesyalman aplike nan yon sib dyòd sputtering. Pousantaj depo a, oswa to fòmasyon fim, se yon paramèt kle pou mezire efikasite nan yon machin magnetron sputtering. Anpil faktè enfliyanse pousantaj depo a, ki gen ladan kalite gaz k ap travay, presyon gaz k ap travay, tanperati sib la sputtering, ak fòs jaden mayetik la. Twa faktè kle enfliyanse pousantaj depo magnetron sputtering sib kouch: sputtering vòltaj, aktyèl, ak pouvwa.

Sputtering Voltage
Efè vòltaj sputtering sou pousantaj fòmasyon fim swiv yon modèl: pi wo vòltaj la, pi vit pousantaj sputtering la, ak efè sa a se gradyèl ak gradyèl nan ranje enèji ki nesesè pou depo sputtering. Pami faktè ki enfliyanse koyefisyan sputtering la, sib sputtering la ak aktyèl sputtering se pi enpòtan an. Apre gaz la, vòltaj la egzeyat se tout bon enpòtan. Anjeneral pale, pandan nòmal magnetron sputtering, pi wo vòltaj la egzeyat, pi gwo a koyefisyan sputtering, sa vle di iyon yo ensidan yo gen pi wo enèji. Kòm yon rezilta, atòm ki soti nan sib la solid yo pi fasil sputtered ak depoze sou substra a yo fòme yon fim mens.

Sputtering Kouran
Aktyèl sputtering nan yon sib magnetron se pwopòsyonèl ak aktyèl la ion nan sifas la sib epi se poutèt sa se yon faktè kle enfliyanse pousantaj la sputtering. Yon règ jeneral nan magnetron sputtering se ke to a depo se pi rapid nan presyon an gaz optimal (ki varye depann sou materyèl la sib ak pwojè a sputtering). Se poutèt sa, san yo pa konpwomèt bon jan kalite fim ak satisfè kondisyon kliyan, presyon gaz la pi bon apwopriye ki baze sou sede sputtering. Gen de fason yo chanje aktyèl la sputtering: pa chanje vòltaj la opere oswa presyon gaz la opere.

Pouvwa Sputtering Efè a nan pouvwa sputtering sou pousantaj depo se menm jan ak sa yo ki nan sputtering vòltaj. Anjeneral pale, ogmante pouvwa a sputtering nan sib la magnetron ka ogmante pousantaj fòmasyon fim nan. Sepandan, sa a se pa yon règ inivèsèl. Lè vòltaj sputtering nan sib la magnetron ba (pa egzanp, alantou 200 vòlt) ak aktyèl la sputtering se gwo, byenke pouvwa a sputtering mwayèn pa ba, iyon yo pa ka sputtered epi yo pa ka depoze. Avantou a se ke vòltaj la sputtering aplike nan sib la magnetron se wo ase pou ke enèji a nan iyon yo gaz k ap travay nan jaden an elektrik ant katod la ak anod la se ase pi gran pase "papòt la enèji sputtering" nan sib la.