Faktè teknik ki afekte plasma flite pou preparasyon sib Sputtering

Plasma flite itilize yon flanm plasma pou chofe ak fonn poud espre a, fòme yon kouch. Plasma flite anjeneral itilize Ar oswa G gaz, ak 5% a 10% te ajoute Ar gaz. Gaz la antre nan rejyon ki gen fòm arc-nan zòn elektwòd la, kote li chofe epi iyonize pou fòme yon plasma. Tanperati debaz la anjeneral rive plis pase 15,000 degre F. Yo mete poud metal oswa ki pa-nan jè plasma a, chofe nan yon eta semi-fonn, fonn oswa vaporize. Fòs enpak la depoze poud lan sou substra a, sa ki lakòz sib ak fonksyonalite divès kalite. Faktè teknik sa yo afekte efikasite plasma flite pou preparasyon sib sputtering:

1. Arc Power

Twòp pouvwa arc ogmante degre iyonizasyon nan plasma ak tanperati flanm dife, potansyèlman vaporize materyèl la flite ak chanje konpozisyon an kouch. Twòp pouvwa rezilta nan chofaj ensifizan nan patikil yo poud, sa ki lakòz adezyon kouch ba, dite, ak efikasite depo.

2. Sistèm Pwovizyon pou Poud

Pousantaj ekipman pou poud yo ta dwe koresponn ak pouvwa D '. Anjeneral pale, livrezon poud nan sant la nan flanm dife a reyalize optimal chofaj ak vitès ki pi wo a.

3. Distans Flite ak Ang Flite

Karakteristik yo nan materyèl la flite ak kouch li yo trè sansib a distans la flite. Si distans espre a twò gwo, tanperati a poud ak vitès ap diminye, siyifikativman diminye fòs lyezon ak efikasite espre. Si distans espre a twò piti, tanperati sifas substra a pral twò wo, sa ki afekte adezyon kouch. Si tanperati substra a pèmèt, yo rekòmande yon distans pi piti espre. Ang flite a ta dwe jeneralman pi gran pase 45 degre. Yon ang espre ki pi piti pral lakòz yon "efè lonbraj," sa ki lakòz vid nan kouch la ak sa ki lakòz yon kouch ki lach.

4. Kontwòl Tanperati Substra

Anvan flite, prechofe materyo a nan tanperati flite ki nesesè yo. Lè sa a, sèvi ak mezi refwadisman tankou avyon lè pou kenbe yon tanperati konstan.

5. Flite Presyon

Flite Plasma presyon ba -(yo rele tou flite plasma vakyòm) jeneralman yo itilize nan flite nan materyèl metal. Flite fèt nan yon chanm atmosfè kontwole ak yon presyon nan 4 a 40 kPa. Paske gaz k ap travay iyonize a elaji epi li ekspilse nan yon atmosfè presyon ba -, vitès jè a ka rive nan vitès supèrsonik, ki fè li apwopriye pou flite oksidasyon-metal sansib. Pou seramik oksid, dlo -estabilize plasma flite ka itilize, ki ofri gwo dansite enèji, konbisyon ki estab, ak efikasite espre segondè.